画像計測機器メーカーのエビデントは、レーザー顕微鏡・白色干渉計・フォーカスバリエーションの3方式を1台に統合した3D測定レーザー顕微鏡「LEXT OLS5500」を発売しました。世界で初めてレーザー顕微鏡と白色干渉計の双方で「正確さ」と「繰り返し性」を保証するハイブリッドシステムをうたい、研究開発や品質保証などでの高精度な表面測定ニーズを取り込むねらいです。
OLS5500は、ISO規格に準拠した測定ノイズ保証により、微細な表面性状を高解像度で3次元観察できます。広い範囲を測る際も、レーザー顕微鏡・白色干渉計いずれのモードでも貼り合わせデータの精度を確保します。同社が100年以上にわたり培った光学設計技術を生かしたLEXT専用対物レンズにより、視野全体で鮮明な画像と精密な3D形状取得を実現したとしています。
白色干渉用の高NA（開口数が大きく光を多く集められる）対物レンズにより、従来のレーザー顕微鏡に比べ最大40倍の測定スループット向上を見込んでいます。自動化機能と直感的なユーザーインターフェースを備え、観察から検査・測定までの一連作業を効率化することで、開発現場での微細構造解析から量産現場の品質管理まで幅広い工程の省力化に貢献するとしています。
同製品は、表面解析における測定信頼性が評価され、公益財団法人日本デザイン振興会の2025年度グッドデザイン賞も受賞しました。今後は、半導体、電気電子部品、マテリアルサイエンスなど高精度な3D測定が必要な産業分野での採用拡大が見込まれ、表面計測装置市場でハイブリッド型システムの普及が進むかどうかが注目されます。
【製品情報】
LEXT OLS5500 製品情報
EvidentScientific.com
source: PR TIMES