伯東（7433）は1月29日、販売代理店として取り扱うフランスRIBER社製の量産型MBE（分子線エピタキシー）装置「MBE6000」を、QDレーザが量子ドットエピウエハ向けに採用し、受注したと明らかにしました。MBE6000は4インチ9枚、6インチ4枚のバッチ処理に対応します。
MBEは真空中で原子・分子のビームを基板に積層し、化合物半導体の結晶を成長させる製造装置です。MBE6000は最適化したチャンバー設計や信頼性の高いコンポーネント、高度な制御ソフトにより、量子ドットの成長パラメータを高精度に制御しつつ、高スループット量産を可能にするとしています。
QDレーザはGaAsプラットフォーム上の量子ドット／量子井戸の成長技術と設計力を生かし、産業・データ通信用途の製品を手掛けます。導入の狙いは供給の安定性強化と、高成長市場での新規ビジネス機会の獲得、次世代製品開発の加速です。MBE6000は海外で40台以上の稼働実績があるとされます。
国内メーカーで初採用となることから、同種の化合物半導体デバイスメーカーに装置導入の検討が広がる可能性があります。今後は量産立ち上げの進捗や、供給安定性の改善度合いが焦点になりそうです。
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