堀場製作所グループで半導体事業を担う堀場エステック（京都市）は、チャンバー内圧力を測るキャパシタンスマノメーター（隔膜式真空計）「VG-500S」を2025年12月17日に発売します。センサー温度を100～200℃で指定でき、高温プロセスでも安定測定を狙います。圧力変化を測定値へ反映する応答時間は、同社「VG-500」比で約4倍高速化したとしています。
半導体製造では成膜・エッチング工程でガス供給と真空維持が歩留まりや生産性に影響します。低蒸気圧の材料ガスでは配管加熱が必要となり、結露や熱分解を避けるため真空計側も温度管理が求められます。VG-500Sは独自アルゴリズムに加え、ステンレス製ダイアフラム（圧力を受ける薄膜）を用いて高速応答と精度の両立を図りました。今後はVGシリーズのラインアップ拡充を通じ、海外を含む販売体制の強化を進めるとしています。
【イベント情報】
SEMICON Japan 2025（出展）
会期：2025年12月17日～19日
会場：東京ビッグサイト
source: PR TIMES