サン工業（長野県伊那市）は2026年3月17日、開発中の「耐フッ酸めっき（無電解Ni-Wめっき）」の研究成果を、表面技術協会第153回講演大会で報告したと明らかにしました。発表は開発課の水品愛都氏と河合陽賢氏が担当し、題目は「無電解Ni‐W合金めっきの開発と耐ハロゲン性の評価」です。
同技術は、半導体製造のフッ酸洗浄・エッチング工程で装置の金属部品が劣化・腐食し、交換コストやメンテナンス頻度が増える課題に対する対策として位置付けられます。背景には、代替策として貴金属表面処理や特殊耐食合金、高機能樹脂が採用される一方、コスト増につながりやすい点があります。
講演大会は2026年3月10日に開催され、サン工業は評価結果の提示を通じて耐ハロゲン性に関する知見を整理しました。同社は1949年創業で、めっきは20種類以上に対応し、設備は40ライン、資本金は9,000万円としています。
今後は学会で得た知見を基に、半導体製造装置部品への実用化に向けた研究開発を加速し、関連分野での活用拡大を目指すとしています。
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公式サイト：https://www.sun-kk.co.jp
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サン工業、学会発表で「耐フッ酸めっき」開発進捗を報告